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第171章 都搞定了(2/2)

“至于要求更的光学掩,你看看这个。”说完,陈把一个样品送到了张振兴面前。

“不!和您的工作比起来,我们这些,不值一提!”张振兴激动

这得多少工艺创新,这得多少创新成果?

张振兴立刻拿起桌上的报告,看完之后,一脸的震惊!

“什么?终极紫外光?”张振兴一脸的不解。

“好,我上把这些工作全分发下去,保证在一个星期!不!三天!三天内把成果个您。”

“这是咱们现在利用芥扫描显微镜下,动态化学法磨的平整度±10米的掩,相当于一个太平洋那么大面积的玻璃,凹凸误差在10米以下!可以大幅度的反终极紫外光,但是,对其他的光,却可以全收!”

“可是,这样一来,紫外光的度又成倍数增加,而且,因为碳的光学特,使它被收的更多,这样原本激光光源能够达到要求吗?”

“没错。紫外光的波长范围在10-216纳米之间,之前使用的光源在197纳米的紫外光,现在光刻机使用的都是13。5纳米极紫外光源,而这还不够,我们用的终极紫外光就是紫外光的极限10纳米终极紫外光。”

听到张振兴的话,陈忍不住叹,不愧是研究芯片的,提的问题都一针见血!

“这些技术您真的全都突破了?”

“都已经突破了!你没发现咱们的这个芯片工厂建在了黑龙基地旁边吗?等到可控聚变电站运转,电量本不是问题。”

“不可能!绝对不可能!”张振兴脱

光源,栅极构造,光学掩……任何一项,都是重大突破,竟然全被陈教授一个人搞定了?

“好!辛苦了!”

“不然呢?要不然咱也没必要非得制造1纳米制程工艺的光刻机啊。”陈笑着说

听到这话,张振兴震惊了!

“这个是我们刚刚的试验,利用球形栅极,取代现在的鱼鳍式栅极,并且,利用多加压,可以实现1纳米制程,晶数量可以达到200亿个,运算速度可以相比于5纳米的可以提60%以上,功耗上面却节省了30%。”

“二维单晶石墨烯材料?140米?”张振兴说。ъìqυgΕtv.℃ǒΜ

“为了能够实现度的光刻,我们使用波长更短,更加“锋利”的终极紫外光。”

看着那些东西,过了半晌才反应过来!

“没错,二维的单晶石墨烯材料,材料厚度几乎可以忽略不计,键长142米,因为和硅元素属于同族元素,与纯度达到20个九的单晶硅有很好的贴合,因为它的导电正好可以减少电阻,弥补硅的发问题,同时可以提运行速度。”

“现在用激光轰击锡滴获得13、5纳米的极紫外光已经是达到了极限,而且,耗电量达到了惊人的恐怖程度,若是想要获得波长更短,度更大的终极紫外光,那耗电量岂不是比现在的还要很多!而且,还要求对光学掩达到令人发指的地步,这些……都……”

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