张振兴立刻拿起桌上的报告，看完之后，一脸的震惊！

“都已经突破了！你没发现咱们的这个芯片工厂建在了黑龙基地旁边吗？等到可控聚变电站运转，电量本不是问题。”

“现在用激光轰击锡滴获得13、5纳米的极紫外光已经是达到了极限，而且，耗电量达到了惊人的恐怖程度，若是想要获得波长更短，度更大的终极紫外光，那耗电量岂不是比现在的还要很多！而且，还要求对光学掩发达到令人发指的地步，这些……都……”

“没错。紫外光的波长范围在10-216纳米之间，之前使用的光源在197纳米的紫外光，现在光刻机使用的都是13。5纳米极紫外光源，而这还不够，我们用的终极紫外光就是紫外光的极限10纳米终极紫外光。”

听到这话，张振兴震惊了！

看着那些东西，过了半晌才反应过来！

“不然呢？要不然咱也没必要非得制造1纳米制程工艺的光刻机啊。”陈笑着说。

“为了能够实现度的光刻，我们使用波长更短，更加“锋利”的终极紫外光。”

“不可能！绝对不可能！”张振兴脱而。

这得多少工艺创新，这得多少创新成果？

光源，栅极构造，光学掩……任何一项，都是重大突破，竟然全被陈教授一个人搞定了？

“什么？终极紫外光？”张振兴一脸的不解。

“可是，这样一来，紫外光的度又成倍数增加，而且，因为碳的光学特，使它被收的更多，这样原本激光光源能够达到要求吗？”

“不！和您的工作比起来，我们这些，不值一提！”张振兴激动。

“这个是我们刚刚的试验，利用球形栅极，取代现在的鱼鳍式栅极，并且，利用多加压，可以实现1纳米制程，晶数量可以达到200亿个，运算速度可以相比于5纳米的可以提60%以上，功耗上面却节省了30%。”

“二维单晶石墨烯材料？140米？”张振兴说。ъìqυgΕtv.℃ǒΜ

“好！辛苦了！”

“好，我上把这些工作全分发下去，保证在一个星期！不！三天！三天内把成果个您。”

听到张振兴的话，陈忍不住叹，不愧是研究芯片的，提的问题都一针见血！

“这是咱们现在利用芥扫描显微镜下，动态化学法磨的平整度±10米的掩，相当于一个太平洋那么大面积的玻璃，凹凸误差在10米以下！可以大幅度的反终极紫外光，但是，对其他的光，却可以全收！”

“这些技术您真的全都突破了？”

“至于要求更的光学掩，你看看这个。”说完，陈把一个样品送到了张振兴面前。

“没错，二维的单晶石墨烯材料，材料厚度几乎可以忽略不计，键长142米，因为和硅元素属于同族元素，与纯度达到20个九的单晶硅有很好的贴合，因为它的导电正好可以减少电阻，弥补硅的发问题，同时可以提运行速度。”